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公开(公告)号：CN113188691A
公开(公告)日：2021-07-30
申请号：CN202110431439.X
申请日：2021-04-21
Applicant: 上海大学
Abstract: 本发明公开了一种光纤法布里‑珀罗密封腔压力传感器及制备方法，属于压力传感器技术领域。该传感器包括第一光纤、毛细管和第二光纤，所述第一光纤和第二光纤位于毛细管的内侧，且第二光纤与第一光纤不接触，所述第一光纤、毛细管和第二光纤三者一次性焊接固定，并在第二光纤与第一光纤之间形成密封的法布里‑珀罗腔压力传感单元。采用CO2激光光纤熔焊机一次性通光焊接第一光纤、毛细管和第二光纤，形成密封的法布里‑珀罗腔压力传感单元，对焊接点B进行抛光后，该压力传感单元即可直接进行压力传感，大大简化了法布里‑珀罗腔的制备工艺，提高了压力传感器的制作效率，降低了压力传感器的制作成本。
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公开(公告)号：CN110160570B
公开(公告)日：2021-07-20
申请号：CN201910395635.9
申请日：2019-05-13
Applicant: 上海大学
Abstract: 本发明公开了一种基于蓝宝石与光纤插芯键合的光纤传感器的制备方法，所述光纤传感器包括光纤插芯、单晶蓝宝石传感单元，在制备时，单晶蓝宝石传感单元和光纤插芯之间通过高温键合使界面材料扩散键合连接而得。本发明基于原子扩散原理的直接键合方法，单晶蓝宝石传感单元和光纤插芯之间通过高温高压下发生界面材料扩散键合连接而得，使得光纤插芯与单晶蓝宝石传感单元之间能够实现稳定连接传感，避免了热膨胀系数不匹配的问题，键合界面在高温环境下稳定性高，可以实现光纤与蓝宝石传感单元的高精度对准封装。
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公开(公告)号：CN113188691B
公开(公告)日：2023-01-20
申请号：CN202110431439.X
申请日：2021-04-21
Applicant: 上海大学
Abstract: 本发明公开了一种光纤法布里‑珀罗密封腔压力传感器及制备方法，属于压力传感器技术领域。该传感器包括第一光纤、毛细管和第二光纤，所述第一光纤和第二光纤位于毛细管的内侧，且第二光纤与第一光纤不接触，所述第一光纤、毛细管和第二光纤三者一次性焊接固定，并在第二光纤与第一光纤之间形成密封的法布里‑珀罗腔压力传感单元。采用CO2激光光纤熔焊机一次性通光焊接第一光纤、毛细管和第二光纤，形成密封的法布里‑珀罗腔压力传感单元，对焊接点B进行抛光后，该压力传感单元即可直接进行压力传感，大大简化了法布里‑珀罗腔的制备工艺，提高了压力传感器的制作效率，降低了压力传感器的制作成本。
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公开(公告)号：CN110160570A
公开(公告)日：2019-08-23
申请号：CN201910395635.9
申请日：2019-05-13
Applicant: 上海大学
Abstract: 本发明公开了一种基于蓝宝石与光纤插芯键合的光纤传感器的制备方法，所述光纤传感器包括光纤插芯、单晶蓝宝石传感单元，在制备时，单晶蓝宝石传感单元和光纤插芯之间通过高温键合使界面材料扩散键合连接而得。本发明基于原子扩散原理的直接键合方法，单晶蓝宝石传感单元和光纤插芯之间通过高温高压下发生界面材料扩散键合连接而得，使得光纤插芯与单晶蓝宝石传感单元之间能够实现稳定连接传感，避免了热膨胀系数不匹配的问题，键合界面在高温环境下稳定性高，可以实现光纤与蓝宝石传感单元的高精度对准封装。
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