公开(公告)号：CN113188691A

公开(公告)日：2021-07-30

申请号：CN202110431439.X

申请日：2021-04-21

Applicant: 上海大学

Inventor： 庞拂飞 ,  陈锦涛 ,  王廷云 ,  胡勇 ,  马章微 ,  王之凤 ,  张亮 ,  魏鹤鸣

IPC: G01L1/24 ,  G01L11/02

Abstract: 本发明公开了一种光纤法布里‑珀罗密封腔压力传感器及制备方法，属于压力传感器技术领域。该传感器包括第一光纤、毛细管和第二光纤，所述第一光纤和第二光纤位于毛细管的内侧，且第二光纤与第一光纤不接触，所述第一光纤、毛细管和第二光纤三者一次性焊接固定，并在第二光纤与第一光纤之间形成密封的法布里‑珀罗腔压力传感单元。采用CO2激光光纤熔焊机一次性通光焊接第一光纤、毛细管和第二光纤，形成密封的法布里‑珀罗腔压力传感单元，对焊接点B进行抛光后，该压力传感单元即可直接进行压力传感，大大简化了法布里‑珀罗腔的制备工艺，提高了压力传感器的制作效率，降低了压力传感器的制作成本。

公开(公告)号：CN113188691B

公开(公告)日：2023-01-20

申请号：CN202110431439.X

申请日：2021-04-21

Applicant: 上海大学

Inventor： 庞拂飞 ,  陈锦涛 ,  王廷云 ,  胡勇 ,  马章微 ,  王之凤 ,  张亮 ,  魏鹤鸣

IPC: G01L1/24 ,  G01L11/02

Abstract: 本发明公开了一种光纤法布里‑珀罗密封腔压力传感器及制备方法，属于压力传感器技术领域。该传感器包括第一光纤、毛细管和第二光纤，所述第一光纤和第二光纤位于毛细管的内侧，且第二光纤与第一光纤不接触，所述第一光纤、毛细管和第二光纤三者一次性焊接固定，并在第二光纤与第一光纤之间形成密封的法布里‑珀罗腔压力传感单元。采用CO2激光光纤熔焊机一次性通光焊接第一光纤、毛细管和第二光纤，形成密封的法布里‑珀罗腔压力传感单元，对焊接点B进行抛光后，该压力传感单元即可直接进行压力传感，大大简化了法布里‑珀罗腔的制备工艺，提高了压力传感器的制作效率，降低了压力传感器的制作成本。