公开(公告)号：CN102169968A

公开(公告)日：2011-08-31

申请号：CN201110035610.1

申请日：2011-02-01

Applicant: 三星移动显示器株式会社

Inventor： 金贞莲 ,  成沄澈

IPC: H01L51/56 ,  H01L27/32

CPC classification number: C23C14/243 ,  C23C14/044 ,  C23C14/12 ,  C23C14/562 ,  H01L51/56

Abstract: 本发明提供一种薄膜沉积设备、有机发光显示装置及其制造方法。薄膜沉积设备包括：沉积源，排放沉积材料；沉积源喷嘴单元，设置在沉积源的一侧处，包括沿第一方向布置的多个沉积源喷嘴；图案化缝隙片，设置为与沉积源喷嘴单元相对，包括在图案化缝隙片的一端处的共用沉积区域和在另一端处的沿第一方向的多个图案化缝隙，多个图案化缝隙中的每个图案化缝隙包括长度不同的多个图案化子缝隙；障碍板组件，沿第一方向设置在沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片之间，并包括将沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片之间的沉积空间划分为多个子沉积空间的多个障碍板。薄膜沉积设备与基底分开预定的距离。薄膜沉积设备和基底能够相对于彼此移动。

公开(公告)号：CN102127748A

公开(公告)日：2011-07-20

申请号：CN201110029291.3

申请日：2011-01-11

Applicant: 三星移动显示器株式会社

Inventor： 朴铉淑 ,  曹昌睦 ,  康熙哲 ,  李润美 ,  成沄澈 ,  崔镕燮 ,  金钟宪 ,  柳在光

IPC: C23C16/04 ,  C23C16/455 ,  C23C16/52

CPC classification number: C23C14/24 ,  C23C14/042 ,  H01L51/001

Abstract: 本发明公开了一种薄膜沉积设备，所述薄膜沉积设备可被简单应用于大规模生产大尺寸显示装置并提高生产率。薄膜沉积设备包括：沉积源，排出沉积材料；沉积源喷嘴单元，设置在沉积源的一侧并包括沿第一方向布置的多个沉积源喷嘴；图案化缝隙片，被设置成与所述沉积源喷嘴单元相对，所述图案化缝隙片包括沿与第一方向垂直的第二方向布置的多个图案化缝隙。在基底或者薄膜沉积设备沿第一方向彼此相对移动的同时执行沉积，沉积源、沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片彼此一体地形成。