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公开(公告)号：CN108538786B
公开(公告)日：2022-10-11
申请号：CN201710943288.X
申请日：2017-10-11
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L21/8234 , H01L27/088
Abstract: 本发明提供一种半导体装置及其制造方法。在制造半导体装置的方法中，在衬底上形成第一有源鳍片至第三有源鳍片。第一有源鳍片至第三有源鳍片中的每一个在第一方向上延伸，且第二有源鳍片、第一有源鳍片及第三有源鳍片在第二方向上以此顺序设置，第二方向与第一方向交叉。使用第一蚀刻掩模来移除第二有源鳍片，第一蚀刻掩模覆盖第一有源鳍片及第三有源鳍片。使用第二蚀刻掩模来移除第三有源鳍片，第二蚀刻掩模覆盖第一有源鳍片及衬底的被移除第二有源鳍片的一部分。在第一有源鳍片上形成第一栅极结构。在与第一栅极结构相邻的第一有源鳍片的一部分上形成第一源极/漏极层。本发明的半导体装置可具有高的集成度及小的面积。
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公开(公告)号：CN103382633A
公开(公告)日：2013-11-06
申请号：CN201310160733.7
申请日：2013-05-03
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: D06F33/02
CPC classification number: D06F33/02 , D06F35/002 , D06F35/006 , D06F2204/06 , D06F2204/082
Abstract: 本发明提供了一种设置有能够通过使用单个泵进行排水和循环并能够通过利用水的循环和滚筒的旋转提高洗涤性能的结构的洗衣机及其控制方法，其中，通过使用普通泵同时减少洗衣机的组件的数量使能够进行水排放和循环的流动路径的改变，洗衣机的结构被简化。由于洗衣机通过使用水的循环和滚筒的旋转产生大量的气泡加速了洗涤剂的溶解，所以洗衣机的制造成本降低，从而提高了洗衣机的洗涤性能，并且通过保持产生的气泡，提高了洗涤过程中用户所感受到的感性品质。
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公开(公告)号：CN1203442A
公开(公告)日：1998-12-30
申请号：CN98114842.5
申请日：1998-06-15
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L21/3065
Abstract: 本发明涉及一种利用具有开口的光刻胶图形干法腐蚀半导体衬底或形成于半导体衬底的层的工艺和设备,所述工艺包括:在腐蚀室中两电极之一上加RF功率源,在腐蚀室中形成等离子体;在腐蚀室中两电极的另一个上加RF偏置功率,其中两电极的另一个支撑半导体衬底;及启动将周期性地开/关的RF功率源和RF偏置功率源,使两者间具有相位差;光刻胶图形开口的两侧壁上部边缘部分未被腐蚀,同时此上部边缘上形成了聚合物,从而得到与开口相应的腐蚀部分的临界尺寸。
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公开(公告)号：CN108796981B
公开(公告)日：2022-06-14
申请号：CN201810166429.6
申请日：2018-02-28
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: D06F31/00 , D06F33/46 , D06F33/48 , D06F33/36 , D06F33/40 , D06F34/04 , D06F105/48 , D06F105/10 , D06F103/38 , D06F103/46 , D06F103/24 , D06F103/26
Abstract: 本发明的洗衣机可包括：第一桶，用于储存水；第一滚筒，可旋转地设置于上述第一桶的内部；第一驱动马达，用于使上述第一滚筒旋转；第二桶，用于储存水；第二滚筒，可旋转地设置于上述第二桶的内部；第二驱动马达，用于使上述第二滚筒旋转；加热器，用于对储存于上述第一桶的水进行加热；以及控制部，若上述加热器和上述第二驱动马达处于动作中，则中断上述第二驱动马达的动作并使上述第一驱动马达工作。
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公开(公告)号：CN108538786A
公开(公告)日：2018-09-14
申请号：CN201710943288.X
申请日：2017-10-11
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L21/8234 , H01L27/088
CPC classification number: H01L21/823807 , G06F7/505 , G06F17/5081 , G06F2217/84 , H01L21/30608 , H01L21/308 , H01L21/823814 , H01L21/823821 , H01L21/823871 , H01L21/823878 , H01L23/535 , H01L27/0924 , H01L29/0653 , H01L29/0847 , H01L29/1037 , H01L29/66545
Abstract: 本发明提供一种半导体装置及其制造方法。在制造半导体装置的方法中，在衬底上形成第一有源鳍片至第三有源鳍片。第一有源鳍片至第三有源鳍片中的每一个在第一方向上延伸，且第二有源鳍片、第一有源鳍片及第三有源鳍片在第二方向上以此顺序设置，第二方向与第一方向交叉。使用第一蚀刻掩模来移除第二有源鳍片，第一蚀刻掩模覆盖第一有源鳍片及第三有源鳍片。使用第二蚀刻掩模来移除第三有源鳍片，第二蚀刻掩模覆盖第一有源鳍片及衬底的被移除第二有源鳍片的一部分。在第一有源鳍片上形成第一栅极结构。在与第一栅极结构相邻的第一有源鳍片的一部分上形成第一源极/漏极层。本发明的半导体装置可具有高的集成度及小的面积。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1129959C
公开(公告)日：2003-12-03
申请号：CN98114842.5
申请日：1998-06-15
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L21/3065
Abstract: 本发明涉及一种利用具有开口的光刻胶图形干法腐蚀半导体衬底或形成于半导体衬底的层的工艺和设备，所述工艺包括：在腐蚀室中两电极之一上加RF功率源，在腐蚀室中形成等离子体；在腐蚀室中两电极的另一个上加RF偏置功率，其中两电极的另一个支撑半导体衬底；及启动将周期性地开/关的RF功率源和RF偏置功率源，使两者间具有相位差；光刻胶图形开口的两侧壁上部边缘部分未被腐蚀，同时此上部边缘上形成了聚合物，从而得到与开口相应的腐蚀部分的临界尺寸。
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公开(公告)号：CN108796981A
公开(公告)日：2018-11-13
申请号：CN201810166429.6
申请日：2018-02-28
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 本发明的洗衣机可包括：第一桶，用于储存水；第一滚筒，可旋转地设置于上述第一桶的内部；第一驱动马达，用于使上述第一滚筒旋转；第二桶，用于储存水；第二滚筒，可旋转地设置于上述第二桶的内部；第二驱动马达，用于使上述第二滚筒旋转；加热器，用于对储存于上述第一桶的水进行加热；以及控制部，若上述加热器和上述第二驱动马达处于动作中，则中断上述第二驱动马达的动作并使上述第一驱动马达工作。
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公开(公告)号：CN102345224A
公开(公告)日：2012-02-08
申请号：CN201110220337.X
申请日：2011-08-01
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: D06F39/028 , Y10T137/3149
Abstract: 本发明提供一种洗衣机。该洗衣机具有设置有分支管的供水单元。所述洗衣机包括：机身；桶，设置在所述机身内；供水软管，连接到供水源，以将水供应到所述桶；供水单元，包括由至少一个入口和至少一个出口限定的通道以及区别于该通道的至少一种结构，所述至少一个入口和所述至少一个出口中的至少一个被连接到所述供水软管；分支管，设置在所述供水单元上，以允许被引入到所述供水单元中的水的一部分分支并被排放到所述供水单元的外部。
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