公开(公告)号：CN117085512A

公开(公告)日：2023-11-21

申请号：CN202310534964.3

申请日：2023-05-12

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 崔友泳 ,  申哲珉 ,  梁承龙 ,  李胤行 ,  咸昌烈

IPC: B01D65/02 ,  C02F1/44 ,  C02F103/04

Abstract: 提供了一种清洁超滤膜模块的方法和超纯水制造系统的管理方法。该清洁超滤膜模块的方法包括：在超滤膜模块中安装超滤膜；将去离子水供应至超滤膜模块；以及通过增大/减小供应至超滤膜模块的去离子水的流率用去离子水冲洗超滤膜模块。

公开(公告)号：CN116789298A

公开(公告)日：2023-09-22

申请号：CN202310008885.9

申请日：2023-01-04

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 尹钟夏 ,  金世润 ,  朴宙熙 ,  李枝连 ,  申哲珉

IPC: C02F9/00 ,  B01D63/02 ,  B01D61/58 ,  E03B1/04 ,  E03B7/07 ,  H01L21/67 ,  C02F103/04 ,  C02F1/42 ,  C02F1/28 ,  C02F1/44

Abstract: 提供了超纯水供应设备、基板处理系统和基板处理方法。超纯水供应设备包括：第一供应装置，生产第一超纯水；第二供应装置，生产第二超纯水；第一备用供应装置，向所述第二供应装置提供所述第一供应装置中的流体的一部分；以及第二备用供应装置，向所述第一供应装置提供所述第二供应装置中的流体的一部分。所述第一供应装置包括第一前侧过滤部件、第一后侧过滤部件和第一连接部件。所述第二供应装置包括第二前侧过滤部件、第二后侧过滤部件和第二连接部件。所述第一备用供应装置和所述第二备用供应装置中的每一者将所述第一连接部件和所述第二连接部件彼此连接。

公开(公告)号：CN116639764A

公开(公告)日：2023-08-25

申请号：CN202310128225.4

申请日：2023-02-06

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李胤行 ,  申哲珉 ,  咸昌烈 ,  张智恩

IPC: C02F1/42 ,  C02F1/28 ,  C02F101/10 ,  C02F103/04

Abstract: 一种用于生产超纯水的系统的管理方法，该系统包括具有容纳空间的除硼塔和填充除硼塔的容纳空间的硼吸附树脂，待处理水穿过该容纳空间，并且除硼塔包括多个样本端口，穿过硼吸附树脂的具有不同高度的部分的多个样本待处理水分别通过多个样本端口排出，并且通过增加除硼塔的穿过流速来确定硼吸附树脂的更换周期。

公开(公告)号：CN116621359A

公开(公告)日：2023-08-22

申请号：CN202310122585.3

申请日：2023-02-16

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李胤行 ,  申哲珉 ,  梁承龙 ,  崔友泳 ,  咸昌烈

IPC: C02F9/00 ,  C02F1/66 ,  C02F1/44 ,  C02F1/42 ,  C02F1/30 ,  C02F1/32 ,  C02F103/04

Abstract: 一种超纯水制造设备包括：第一罐；多个反渗透膜，所述多个反渗透膜顺序地布置在所述第一罐的下游；电去离子装置，所述电去离子装置布置在所述多个反渗透膜的下游；离子交换树脂塔，所述离子交换树脂塔布置在所述电去离子装置的下游并且填充有硼选择性树脂；以及化学品供应器，所述化学品供应器布置在所述多个反渗透膜之间并且被配置为向处理目标水供应pH调节剂。