Ⅲ族氮化物纳米棒发光装置及其制造方法

    公开(公告)号:CN102403417B

    公开(公告)日:2015-02-25

    申请号:CN201110281232.5

    申请日:2011-09-14

    CPC classification number: H01L33/32 H01L33/08 H01L33/16 H01L33/24

    Abstract: 本发明公开了一种III族氮化物纳米棒发光装置及其制造方法。所述方法包括:准备基底;在基底上形成包括暴露部分基底的一个或多个开口的绝缘膜;通过向被开口暴露的基底提供III族源气体和氮(N)源气体在被开口暴露的基底上生长第一导电III族氮化物纳米棒晶种层;通过以脉冲模式提供III族源气体和杂质源气体并连续地提供N源气体在第一导电III族氮化物纳米棒晶种层上生长第一导电III族氮化物纳米棒;在每个第一导电III族氮化物纳米棒的表面上形成有源层;以及在有源层上形成第二导电氮化物半导体层。

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