公开(公告)号：CN108573969B

公开(公告)日：2022-10-28

申请号：CN201810189472.4

申请日：2018-03-08

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李俊坤 ,  富田隆治 ,  李道仙 ,  金哲性 ,  李到玹

IPC: H01L27/04 ,  H01L29/78

Abstract: 一种集成电路器件包括至少一个鳍型有源区、在至少一个鳍型有源区上的栅线以及在栅线的至少一侧的至少一个鳍型有源区上的源极/漏极区。第一导电插塞连接到源极/漏极区并且包括钴。第二导电插塞连接到栅线并与第一导电插塞间隔开。第三导电插塞连接到第一导电插塞和第二导电插塞的每个。第三导电插塞电连接第一导电插塞和第二导电插塞。

公开(公告)号：CN108573969A

公开(公告)日：2018-09-25

申请号：CN201810189472.4

申请日：2018-03-08

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李俊坤 ,  富田隆治 ,  李道仙 ,  金哲性 ,  李到玹

IPC: H01L27/04 ,  H01L29/78

Abstract: 一种集成电路器件包括至少一个鳍型有源区、在至少一个鳍型有源区上的栅线以及在栅线的至少一侧的至少一个鳍型有源区上的源极/漏极区。第一导电插塞连接到源极/漏极区并且包括钴。第二导电插塞连接到栅线并与第一导电插塞间隔开。第三导电插塞连接到第一导电插塞和第二导电插塞的每个。第三导电插塞电连接第一导电插塞和第二导电插塞。