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公开(公告)号:CN103287985A
公开(公告)日:2013-09-11
申请号:CN201310052839.5
申请日:2013-02-18
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: B66C19/00 , B66C1/28 , B66C13/18 , H01L21/6773 , H01L21/67733 , H01L21/67763 , H01L21/68707
Abstract: 一种起吊装置以及包含所述起吊装置的起吊系统,所述起吊装置包括:行走单元,从一个地方移动至另一地方;升降单元,安装在所述行走单元中以被提起或从所述行走单元降落;夹持装置,安装在所述升降单元中,且选择性地夹持形成在容纳对象的容纳器的一侧的夹卡突起;以及分离阻止装置,与所述升降单元连接,并选择性地闭合所述容纳器的开放入口,以使容纳在所述容纳器中的对象不与所述容纳器分离。
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公开(公告)号:CN101041398B
公开(公告)日:2010-10-27
申请号:CN200710004224.X
申请日:2007-01-18
Applicant: 三星电子株式会社
Inventor: 张珉九
IPC: B65G37/00 , B65G35/00 , B65G1/04 , H01L21/677
CPC classification number: H01L21/67706 , H01L21/67733 , H01L21/67736 , H01L21/67769
Abstract: 本发明提供了一种沿轨道行进以传输并装载和/或卸载工件的传输系统,所述传输系统包括传输装置和一个或多个缓冲装置。所述传输装置设置有主体单元,以沿轨道行进;滑动单元,与主体单元结合以在传输位置和存储位置之间相对于主体单元相对移动;起重单元,与滑动单元结合以上下移动工件。所述缓冲装置设置在传输装置的行进路径的旁侧以支撑位于存储位置的工件,并设置有支撑部分,用于当滑动单元在传输位置和存储位置之间移动时支撑滑动单元。
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公开(公告)号:CN1982175A
公开(公告)日:2007-06-20
申请号:CN200610131810.6
申请日:2006-10-12
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: B65G35/00 , H01L21/677
Abstract: 本发明涉及一种传送装置,依据本发明所提供的传送装置包含:导轨,该导轨具有由一对轨道部件形成的主轨道和从所述主轨道分岔而形成的分岔轨道;在所述分岔轨道的分岔区域沿所述分岔轨道设置的辅助导轨;搬运车单元,该搬运车单元具有沿所述导轨运行的搬运车主体和结合于所述搬运车主体并与所述辅助导轨的两侧接触而引导所述搬运车主体改变运行轨迹的导轮。由此,可以在分岔区域减小搬运车单元的振动及噪音,并可以防止冲击带来的损伤等,从而可以更加稳定而迅速地传送作业物。
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公开(公告)号:CN118163120A
公开(公告)日:2024-06-11
申请号:CN202311654352.4
申请日:2023-12-04
Abstract: 自主驱动机器人包括:储存单元,所述储存单元包括壳体和搁板,所述壳体提供用于储存物品的空间,所述搁板设置在所述壳体内部并且所述物品被装载在所述搁板上;操纵器,所述操纵器包括线性致动器和联接到所述线性致动器的选择顺应性关节型机器人臂;和运输单元,所述运输单元联接到所述储存单元,其中,设置有多个搁板,所述搁板中的一些搁板被设置成与所述壳体的一个内壁相邻且在所述竖直方向上彼此间隔开,并且其他搁板被设置成与面向所述一个内壁的另一内壁相邻且在所述竖直方向上彼此间隔开,并且所述多个搁板朝向所述壳体的中央部分延伸,但是延伸至到达所述壳体的所述中央部分之前的点。
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公开(公告)号:CN103295944A
公开(公告)日:2013-09-11
申请号:CN201310044499.1
申请日:2013-02-04
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L21/677
CPC classification number: H01L21/67733
Abstract: 本发明提供了用于自动传输基板载体的载体传输器以及利用其传输基板载体的方法。载体传输器包括可拆卸地耦接到基板载体的夹具,该基板载体包括至少一个敞开门,多个基板通过该敞开门装载到基板载体中或从基板载体卸载。载体传输器还包括门阻挡单元,该门阻挡单元固定到夹具并配置为转换至阻挡位置,该阻挡位置为门阻挡单元的部分地阻挡所述门的位置从而在基板载体的自动传输期间防止多个基板从基板载体分离。
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公开(公告)号:CN108010874B
公开(公告)日:2021-12-14
申请号:CN201711047437.0
申请日:2017-10-31
IPC: H01L21/677 , H01L21/027
Abstract: 本公开提供了采用传输装置制造集成电路器件的方法。在一个实施方式中,一种传输装置包括:轨道,连接到框架;行进部件,包括沿着轨道行进的轮子和用于加载物体的加载部件;以及微粒收集容器,提供在轨道的侧部并配置为收集当轮子沿着轨道行进时由于轮子和轨道之间的摩擦产生的微粒。一种采用该传输装置制造集成电路器件的方法包括:将行进部件移动到物体;用加载部件拾取物体,从而将物体加载在加载部件上;使用行进部件以将该物体移动到腔室;以及采用该物体形成半导体器件。
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公开(公告)号:CN108010874A
公开(公告)日:2018-05-08
申请号:CN201711047437.0
申请日:2017-10-31
IPC: H01L21/677 , H01L21/027
CPC classification number: H01L21/67742 , H01L21/67706 , H01L21/67724 , H01L21/6773 , H01L21/67733 , H01L21/67745 , H01L21/6776 , H01L21/027
Abstract: 本公开提供了采用传输装置制造集成电路器件的方法。在一个实施方式中,一种传输装置包括:轨道,连接到框架;行进部件,包括沿着轨道行进的轮子和用于加载物体的加载部件;以及微粒收集容器,提供在轨道的侧部并配置为收集当轮子沿着轨道行进时由于轮子和轨道之间的摩擦产生的微粒。一种采用该传输装置制造集成电路器件的方法包括:将行进部件移动到物体;用加载部件拾取物体,从而将物体加载在加载部件上;使用行进部件以将该物体移动到腔室;以及采用该物体形成半导体器件。
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公开(公告)号:CN103295944B
公开(公告)日:2017-08-11
申请号:CN201310044499.1
申请日:2013-02-04
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L21/677
CPC classification number: H01L21/67733
Abstract: 本发明提供了用于自动传输基板载体的载体传输器以及利用其传输基板载体的方法。载体传输器包括可拆卸地耦接到基板载体的夹具,该基板载体包括至少一个敞开门,多个基板通过该敞开门装载到基板载体中或从基板载体卸载。载体传输器还包括门阻挡单元,该门阻挡单元固定到夹具并配置为转换至阻挡位置,该阻挡位置为门阻挡单元的部分地阻挡所述门的位置从而在基板载体的自动传输期间防止多个基板从基板载体分离。
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公开(公告)号:CN101041398A
公开(公告)日:2007-09-26
申请号:CN200710004224.X
申请日:2007-01-18
Applicant: 三星电子株式会社
Inventor: 张珉九
IPC: B65G37/00 , B65G35/00 , B65G1/04 , H01L21/677
CPC classification number: H01L21/67706 , H01L21/67733 , H01L21/67736 , H01L21/67769
Abstract: 本发明提供了一种沿轨道行进以传输并装载和/或卸载工件的传输系统,所述传输系统包括传输装置和一个或多个缓冲装置。所述传输装置设置有:主体单元,以沿轨道行进;滑动单元,与主体单元结合以在传输位置和存储位置之间相对于主体单元相对移动;起重单元,与滑动单元结合以上下移动工件。所述缓冲装置设置在传输装置的行进路径的旁侧以支撑位于存储位置的工件,并设置有支撑部分,用于当滑动单元在传输位置和存储位置之间移动时支撑滑动单元。
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