传输系统
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101041398B

    公开(公告)日:2010-10-27

    申请号:CN200710004224.X

    申请日:2007-01-18

    Inventor: 张珉九

    Abstract: 本发明提供了一种沿轨道行进以传输并装载和/或卸载工件的传输系统,所述传输系统包括传输装置和一个或多个缓冲装置。所述传输装置设置有主体单元,以沿轨道行进;滑动单元,与主体单元结合以在传输位置和存储位置之间相对于主体单元相对移动;起重单元,与滑动单元结合以上下移动工件。所述缓冲装置设置在传输装置的行进路径的旁侧以支撑位于存储位置的工件,并设置有支撑部分,用于当滑动单元在传输位置和存储位置之间移动时支撑滑动单元。

    传送装置
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1982175A

    公开(公告)日:2007-06-20

    申请号:CN200610131810.6

    申请日:2006-10-12

    Abstract: 本发明涉及一种传送装置,依据本发明所提供的传送装置包含:导轨,该导轨具有由一对轨道部件形成的主轨道和从所述主轨道分岔而形成的分岔轨道;在所述分岔轨道的分岔区域沿所述分岔轨道设置的辅助导轨;搬运车单元,该搬运车单元具有沿所述导轨运行的搬运车主体和结合于所述搬运车主体并与所述辅助导轨的两侧接触而引导所述搬运车主体改变运行轨迹的导轮。由此,可以在分岔区域减小搬运车单元的振动及噪音,并可以防止冲击带来的损伤等,从而可以更加稳定而迅速地传送作业物。

    采用传输装置制造集成电路器件的方法

    公开(公告)号:CN108010874B

    公开(公告)日:2021-12-14

    申请号:CN201711047437.0

    申请日:2017-10-31

    Inventor: 张珉九 李晌熙

    Abstract: 本公开提供了采用传输装置制造集成电路器件的方法。在一个实施方式中,一种传输装置包括:轨道,连接到框架;行进部件,包括沿着轨道行进的轮子和用于加载物体的加载部件;以及微粒收集容器,提供在轨道的侧部并配置为收集当轮子沿着轨道行进时由于轮子和轨道之间的摩擦产生的微粒。一种采用该传输装置制造集成电路器件的方法包括:将行进部件移动到物体;用加载部件拾取物体,从而将物体加载在加载部件上;使用行进部件以将该物体移动到腔室;以及采用该物体形成半导体器件。

    传输系统
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101041398A

    公开(公告)日:2007-09-26

    申请号:CN200710004224.X

    申请日:2007-01-18

    Inventor: 张珉九

    Abstract: 本发明提供了一种沿轨道行进以传输并装载和/或卸载工件的传输系统,所述传输系统包括传输装置和一个或多个缓冲装置。所述传输装置设置有:主体单元,以沿轨道行进;滑动单元,与主体单元结合以在传输位置和存储位置之间相对于主体单元相对移动;起重单元,与滑动单元结合以上下移动工件。所述缓冲装置设置在传输装置的行进路径的旁侧以支撑位于存储位置的工件,并设置有支撑部分,用于当滑动单元在传输位置和存储位置之间移动时支撑滑动单元。

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