公开(公告)号：CN101355095A

公开(公告)日：2009-01-28

申请号：CN200810098817.1

申请日：2008-05-12

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 卢正训 ,  宋根圭 ,  赵承奂

IPC: H01L27/28 ,  H01L21/84 ,  G02F1/1362 ,  G02F1/1333

CPC classification number: H01L51/0541 ,  H01L27/3274 ,  H01L51/0558

Abstract: 本发明提供一种有机薄膜晶体管阵列面板及用于制造有机薄膜晶体管阵列面板的方法，所述方法包括：在基底上形成包括源电极的数据线和与源电极分开的漏电极；在数据线和漏电极上形成包括第一开口和第二开口的堤绝缘层；在第一开口中形成有机半导体；在堤绝缘层和有机半导体上执行绝缘材料层和金属层的顺序沉积；在金属层上形成第一钝化层，使用第一钝化层作为蚀刻掩模来蚀刻金属层，以形成包括栅电极的栅极线；使用第一钝化层作为蚀刻掩模来蚀刻绝缘材料层，以形成栅极绝缘层；在第一钝化层上形成第二钝化层；在第二钝化层上形成像素电极。