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公开(公告)号：CN118891583A
公开(公告)日：2024-11-01
申请号：CN202380027893.6
申请日：2023-03-16
Applicant: 三井化学株式会社
IPC: G03F1/64 , C09J7/38 , C09J201/00
Abstract: 本发明提供一种能够抑制将防护膜组件贴附于光掩模时的滞留气泡数量的带粘着层的防护膜组件框的制造方法。本公开的带粘着层的防护膜组件框的制造方法具备如下工序：准备框前体的工序，上述框前体具备防护膜组件框(11)和形成于上述防护膜组件框(12)的作为粘着层(12)的前体的前体层；在上述前体层的表面配置玻璃化转变温度高于下述工程的加热温度的保护膜(21)，以形成带保护膜的框前体；以及，对上述带保护膜的框前体进行加热，由上述前体层形成表面得到平坦化的上述粘着层(12)。
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公开(公告)号：CN113677722A
公开(公告)日：2021-11-19
申请号：CN202080025442.5
申请日：2020-03-27
Applicant: 三井化学株式会社
IPC: C08F290/12 , C09J4/02 , C09J11/06 , C09J133/00 , G03F1/62 , C09J7/29 , C09J7/38
Abstract: 本发明的课题在于提供一种溶液稳定性高的粘着剂溶液，且通过使用该粘着剂溶液而提供一种残胶少、释气的产生得到抑制的防护膜组件。本发明是一种防护膜组件，所述防护膜组件具有防护膜框架、铺设于防护膜框架的一端面的防护膜、以及设置于防护膜框架的另一端面的粘着剂层，所述防护膜组件中，粘着剂层包含(甲基)丙烯酸系粘着剂，所述(甲基)丙烯酸系粘着剂为包含聚合物(A)及自由基聚合引发剂(B)的树脂组合物的固化物，聚合物(A)具有源自(甲基)丙烯酸酯的结构单元、以及包含含碳‑碳多重键的基团的侧链。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118020023A
公开(公告)日：2024-05-10
申请号：CN202280061342.7
申请日：2022-09-12
Applicant: 三井化学株式会社
Abstract: 本发明的防护膜组件具备防护膜组件框、支撑于上述防护膜组件框的一个端面的防护膜、以及设于上述防护膜组件框的另一个端面的粘着层，并且满足下述式(1)。式(1)：[A60℃]≥4.0gf/mm2。式(1)中，[A60℃]表示将防护膜组件制成试验用层叠体时的第一剥离强度。试验用层叠体是通过将防护膜组件以粘着层与石英玻璃基板的表面接触的方式载置在石英玻璃基板上、并且在预定的条件下将载荷保持在防护膜组件上而获得的。第一剥离强度表示在预定的条件下，使用标准型万能试验机将试验用层叠体所含的防护膜组件从上述石英玻璃基板剥离时所需要的每单位粘接面积的载荷。
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公开(公告)号：CN117916661A
公开(公告)日：2024-04-19
申请号：CN202280060629.8
申请日：2022-09-12
Applicant: 三井化学株式会社
IPC: G03F1/62 , C09J7/38 , C09J133/04
Abstract: 本发明的目的在于提供一种更不易产生释气的防护膜组件。本公开的防护膜组件(10)具备：防护膜组件框架(14)；防护膜(12)，其被支撑于所述防护膜组件框架(14)的一个端面；以及粘着层(15)，其设置于所述防护膜组件框架(14)的另一个端面。所述粘着层(15)的由下述式(A)表示的膨润度为200％以下。式(A)：[(从所述粘着层采集的10mg试验片的浸渍后质量)/10mg]×100。所述式(A)中，所述浸渍后质量表示使所述试验片在毛细管柱GC浓度为99.0％以上的癸烷溶液10ml中浸渍6小时后的所述试验片的质量。
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公开(公告)号：CN115136072A
公开(公告)日：2022-09-30
申请号：CN202180015498.7
申请日：2021-03-24
Applicant: 三井化学株式会社
Abstract: 本公开的目的在于提供一种具有平坦性良好的粘着剂层的防护膜组件、及用于再现性良好地制造该防护膜组件的方法。所述目的通过如下的防护膜组件来达成，所述防护膜组件具有：防护膜组件框、铺设于防护膜组件框的一端面的防护膜以及设置于防护膜组件框的另一端面的粘着剂层，粘着剂层包含树脂组合物的固化物，所述树脂组合物包含固化性聚合物(A)、固化剂(B1)以及固化剂(B2)，固化剂(B1)及固化剂(B2)为固化条件不同的固化剂。
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公开(公告)号：CN119816782A
公开(公告)日：2025-04-11
申请号：CN202380061968.2
申请日：2023-08-22
Applicant: 三井化学株式会社
Abstract: 本公开中，异物去除装置具备：产生真空紫外光的真空紫外光产生部；用于对防护膜照射所述真空紫外光的照射容器；以及向所述照射容器供给非活性气体的气体供给部。所述照射容器具有：照射室，其设置有用于供给所述非活性气体的气体供给口和用于排出所述非活性气体的气体排出口；透过部，其位于所述照射室的边界处，使所述真空紫外光透过；和载台，其配置于所述照射室内且用于载置所述防护膜。所述气体供给部与所述气体供给口连接。
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