发明授权
- 专利标题： Diffusion process
- 专利标题（中）： 扩散过程
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申请号： US3490962D申请日： 1966-04-25
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公开(公告)号： US3490962A公开(公告)日： 1970-01-20
- 发明人: DUFFY MICHAEL C , KENNEDY DAVID P , MURLEY PHILIP C , ARMSTRONG WILLIAM J , SEABOLDT JACK JAY
- 申请人： IBM
- 专利权人： Ibm
- 当前专利权人： Ibm
- 优先权： US54499466 1966-04-25
- 主分类号： H01L21/00
- IPC分类号： H01L21/00 ; H01L21/22 ; H01L29/00 ; H01L7/44
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