- 专利标题： Frequency-modulating sensor array
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申请号： US18350713申请日： 2023-07-11
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公开(公告)号： US12000748B2公开(公告)日： 2024-06-04
- 发明人: Paul M. Hagelin , Charles I. Grosjean , Lev Goncharov
- 申请人： SiTime Corporation
- 申请人地址： US CA Santa Clara
- 专利权人： SiTime Corporation
- 当前专利权人： SiTime Corporation
- 当前专利权人地址： US CA Santa Clara
- 分案原申请号： US15702717 2017.09.12
- 主分类号： G01L5/16
- IPC分类号： G01L5/16 ; G01L1/14 ; G01L1/20 ; G01L9/00
摘要：
Spatially-distributed resonant MEMS sensors are coordinated to generate frequency-modulated signals indicative of regional contact forces, ambient conditions and/or environmental composition.
公开/授权文献
- US20240011854A1 Frequency-modulating sensor array 公开/授权日：2024-01-11
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