Invention Publication
CN1889249A 半导体晶片
失效 - 权利终止
- Patent Title: 半导体晶片
- Patent Title (English): Semiconductor chip
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Application No.: CN200510081382.6Application Date: 2005-06-28
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Publication No.: CN1889249APublication Date: 2007-01-03
- Inventor: 林宗辉 , 刘洪民 , 饶瑞孟 , 张文通 , 陈国明 , 何凯光
- Applicant: 联华电子股份有限公司
- Applicant Address: 中国台湾新竹科学工业园区
- Assignee: 联华电子股份有限公司
- Current Assignee: 联华电子股份有限公司
- Current Assignee Address: 中国台湾新竹科学工业园区
- Agency: 北京市柳沈律师事务所
- Agent 陶凤波; 侯宇
- Main IPC: H01L21/78
- IPC: H01L21/78 ; H01L21/301

Abstract:
本发明披露一种半导体晶片,其特征是,包括多个集成电路芯片区域,每一集成电路芯片区域周围是切割线围绕,经由切割线以及晶片机械切割步骤,可以将多个集成电路芯片区域分开,其中每一集成电路芯片具有四个转角;保护层,同时覆盖前述的集成电路芯片区域以及切割线;第一沟槽,是蚀刻穿过前述的保护层,然后至少蚀刻至介电层,并且仅被安排在每一集成电路芯片的四个转角处;第二沟槽,蚀刻穿过前述的保护层,并配置在靠近前述的第一沟槽的位置;以及保护封环结构,介于集成电路芯片区域与第一沟槽之间。
Public/Granted literature
- CN100407403C 半导体晶片 Public/Granted day:2008-07-30
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IPC分类: