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CN1889249A 半导体晶片 失效 - 权利终止

半导体晶片
Abstract:
本发明披露一种半导体晶片,其特征是,包括多个集成电路芯片区域,每一集成电路芯片区域周围是切割线围绕,经由切割线以及晶片机械切割步骤,可以将多个集成电路芯片区域分开,其中每一集成电路芯片具有四个转角;保护层,同时覆盖前述的集成电路芯片区域以及切割线;第一沟槽,是蚀刻穿过前述的保护层,然后至少蚀刻至介电层,并且仅被安排在每一集成电路芯片的四个转角处;第二沟槽,蚀刻穿过前述的保护层,并配置在靠近前述的第一沟槽的位置;以及保护封环结构,介于集成电路芯片区域与第一沟槽之间。
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