发明授权
CN1866539B 集成电路元件及其形成方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 集成电路元件及其形成方法
- 专利标题(英): Integrated circuit element and forming method thereof
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申请号: CN200410057339.1申请日: 2004-08-27
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公开(公告)号: CN1866539B公开(公告)日: 2010-05-12
- 发明人: 李文钦 , 葛崇祜 , 胡正明
- 申请人: 台湾积体电路制造股份有限公司
- 申请人地址: 中国台湾新竹科学工业园区新竹市力行六路八号
- 专利权人: 台湾积体电路制造股份有限公司
- 当前专利权人: 台湾积体电路制造股份有限公司
- 当前专利权人地址: 中国台湾新竹科学工业园区新竹市力行六路八号
- 代理机构: 北京林达刘知识产权代理事务所
- 代理商 刘新宇
- 主分类号: H01L29/78
- IPC分类号: H01L29/78 ; H01L27/088 ; H01L27/105 ; H01L21/8234
摘要:
本发明提供一种集成电路元件及其形成方法。该集成电路元件包含介电质/金属/第二能隙半导体/第一能隙基底结构。为了降低接触电阻,利用具有较低能隙的第二能隙半导体与金属相接触。该第二能隙半导体的能隙低于第一能隙基底的能隙,且低于1.1ev。此外,可以在金属上沉积一个介电层,该介电层具有固有的应力,从而补偿所述金属、第二能隙半导体和第一能隙基底中的应力。本发明提供的集成电路元件及其形成方法,能够降低接触电阻,同时提高集成电路元件的效能和可靠性。
公开/授权文献
- CN1866539A 集成电路元件及其形成方法 公开/授权日:2006-11-22
IPC分类: