半导体存储器件中的布设结构及其布设方法
摘要:
本发明提供一种具有分级结构的半导体存储器件中的线布设结构和方法。在具有全局字线和局部字线、以及全局位线和局部位线的半导体存储器件中,所有的全局字线、局部字线、全局位线和局部位线分别设置在至少三层之中的导电层处;全局字线、局部字线、全局位线和局部位线中的至少两种一起平行设置在一层导电层上。构成半导体存储器件的信号线设置在分级结构中,由此可以获得有利地具有高集成度、高速度和高性能的半导体存储器件。
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