发明授权
CN1844937B 高灵敏度的微电子机械系统的光电检流计、制作及其检测方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 高灵敏度的微电子机械系统的光电检流计、制作及其检测方法
- 专利标题(英): High-sensitivity MEMS photoelectric galvanometer, making and detecting method thereof
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申请号: CN200610026521.X申请日: 2006-05-12
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公开(公告)号: CN1844937B公开(公告)日: 2010-05-12
- 发明人: 吴亚明 , 赵本刚 , 高翔 , 刘玉菲 , 徐静
- 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 申请人地址: 上海市长宁区长宁路865号
- 专利权人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 当前专利权人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 当前专利权人地址: 上海市长宁区长宁路865号
- 代理机构: 上海智信专利代理有限公司
- 代理商 潘振甦
- 主分类号: G01R19/00
- IPC分类号: G01R19/00
摘要:
本发明涉及一种基于微电子机械系统(Micro-Electronic MechanicSystem,MEMS)的光电检流计、制作及其检测方法,其特征在于采用微机械工艺制作螺旋线圈式MEMS扭转微镜。无需放大电路,将待测的直流或低频微弱电流输入驱动线圈,置于外加永磁铁产生的强磁场中,驱动线圈将受到洛伦兹力产生的力矩作用,驱动微镜偏离初始位置,利用双光纤准直器对角度非常敏感的特性进行检测,根据光信号的损耗量与扭转角度的关系,经过光电转换与信号处理后测量出电流值。这种MEMS光电检流计,输入端无需放大电路,可达到安培至皮安量级电流的直接准确测量,克服了微弱电流信号放大过程中引起的噪声干扰和漂移等技术问题,同时可以实现输入端与输出端的光电隔离,是一种体积小、结构简单、成本低、可以批量生产和抗震性好的高灵敏度光电检流计。
公开/授权文献
- CN1844937A 高灵敏度的微电子机械系统的光电检流计、制作及其检测方法 公开/授权日:2006-10-11