正型抗蚀剂组合物及使用其形成抗蚀图形的方法
摘要:
提供了一种正型树脂组合物,它含有:(A)一种树脂组分,它在主链内含有(甲基)丙烯酸酯衍生的结构单元,并在酯基侧链部分结合了含有可被酸离解的、抑制溶解的基团的多环基团,因此在酸的作用下增加了它在碱中的溶解度;(B)一种能在曝光时产生酸的产酸剂组分;及(C)有机溶剂,其中:组分(A)含有甲基丙烯酸酯衍生的结构单元和丙烯酸酯衍生的结构单元二者。依据这种抗蚀剂组合物,可形成一种在蚀刻时几乎不出现表面的粗糙和线边缘粗糙,且还提供出色的分辨能力和聚焦范围深度广的抗蚀图形。
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