发明授权
- 专利标题: 正型抗蚀剂组合物及使用其形成抗蚀图形的方法
- 专利标题(英): Positive type resist composition and resist pattern formation method using same
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申请号: CN200610007164.2申请日: 2002-11-29
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公开(公告)号: CN1818784B公开(公告)日: 2012-07-04
- 发明人: 岩井武 , 久保田尚孝 , 藤村悟史 , 宫入美和 , 羽田英夫
- 申请人: 东京应化工业株式会社
- 申请人地址: 日本神奈川县
- 专利权人: 东京应化工业株式会社
- 当前专利权人: 东京应化工业株式会社
- 当前专利权人地址: 日本神奈川县
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 陈长会
- 优先权: 2001-369341 2001.12.03 JP; 2001-382126 2001.12.14 JP; 2002-201310 2002.07.10 JP
- 分案原申请号: 028234545 2002.11.29
- 主分类号: G03F7/039
- IPC分类号: G03F7/039 ; G03F7/16 ; G03F7/20 ; G03F7/26
摘要:
提供了一种正型树脂组合物,它含有:(A)一种树脂组分,它在主链内含有(甲基)丙烯酸酯衍生的结构单元,并在酯基侧链部分结合了含有可被酸离解的、抑制溶解的基团的多环基团,因此在酸的作用下增加了它在碱中的溶解度;(B)一种能在曝光时产生酸的产酸剂组分;及(C)有机溶剂,其中:组分(A)含有甲基丙烯酸酯衍生的结构单元和丙烯酸酯衍生的结构单元二者。依据这种抗蚀剂组合物,可形成一种在蚀刻时几乎不出现表面的粗糙和线边缘粗糙,且还提供出色的分辨能力和聚焦范围深度广的抗蚀图形。
公开/授权文献
- CN1818784A 正型抗蚀剂组合物及使用其形成抗蚀图形的方法 公开/授权日:2006-08-16
IPC分类: