CMP研磨剂以及研磨方法
摘要:
本发明提供了一种CMP研磨剂以及研磨方法,其中CMP研磨剂含有氧化铈粒子、分散剂、水溶性高分子以及水,所述水溶性高分子为具有下述族群中的任一种化合物的N-单取代化合物骨架和N,N-二取代化合物骨架中的任一种的化合物:丙烯酰胺、甲基丙烯酰胺以及它们的α-取代化合物所构成的族群。其中相对研磨剂100重量份,水溶性高分子优选为0.01~10重量份。从而,在平坦化层间绝缘膜、BPSG膜、浅沟槽分离用绝缘膜等的CMP技术中,能够有效、高速地研磨,且操作管理也能容易地进行。
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