发明公开
- 专利标题： 用于接触检验对象的装置及方法
- 专利标题（英）： Device and methods for contacting objects to be tested
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申请号： CN200380103561.4申请日： 2003-11-14
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公开(公告)号： CN1714298A公开(公告)日： 2005-12-28
- 发明人: 马蒂亚斯·布伦纳
- 申请人： 应用材料有限公司
- 申请人地址： 德国伊斯马宁
- 专利权人： 应用材料有限公司
- 当前专利权人： 应用材料有限公司
- 当前专利权人地址： 德国伊斯马宁
- 代理机构： 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- 代理商 董莘
- 优先权： 10253717.8 2002.11.18 DE
- 国际申请： PCT/EP2003/012739 2003.11.14
- 国际公布： WO2004/046740 DE 2004.06.03
- 进入国家日期： 2005-05-18
- 主分类号： G01R31/305
- IPC分类号： G01R31/305 ; G01R31/28 ; G09G3/00 ; G01R31/302 ; G01R1/073
摘要：
本发明涉及定位基底(140)以及为了用具有光轴或相应设备的检验装置检验而接触检验对象(301)的方法。从而，基底被放置在支撑台(130)上。相对于光轴定位基底。接触单元(150)也相对于光轴被定位，其中接触单元的定位与基底的定位操作无关。因此可以实现基底上检验对象的灵活接触。
公开/授权文献
- CN100526897C 用于接触检验对象的装置及方法 公开/授权日：2009-08-12
