本发明提供了含氟酰氟和含氟乙烯醚的新制造方法。即，提供了使氟含量在30质量％以上的化合物(1)在液相中与氟反应成化合物(2)，然后化合物(2)中的酯键裂解，得到含氟酰氟(3)的制造方法；还提供了使该含氟酰氟热分解成含氟乙烯醚(10)的制造方法。其中，RA、RB表示烷基等，RA与RB可连结成含有醚性氧原子的亚烷基等；RC、RD表示全氟(含有醚性氧原子的烷)基等，RC与RD可连结成全氟(含有醚性氧原子的亚烷)基等；X1～X6表示氢原子或氟原子等；RAF、RBF、RCF、RDF分别表示RA、RB、RC、RD的氢原子实质上全部被氟原子取代的基团等。