一种功率半导体器件及其制备方法
Abstract:
一种功率半导体器件及其制备方法,本发明涉及于功率半导体器件,本发明在栅极金属层下方P型盖层上方的两侧边缘位置设置分隔层,分隔层由带能隙大于P型盖层的能带隙的材料或其组合组成,分隔层的临界电场大于P型盖层的临界电场。当栅极正向受压时,栅极金属层下方分隔层表面的角落位置会形成尖峰电场,由于分隔层的临界电场大于P型盖层的临界电场,提升了器件的栅极击穿电压及可靠性。
Patent Agency Ranking
0/0