发明公开
- 专利标题: 门极换流晶闸管芯片及其制备方法
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申请号: CN202410900723.0申请日: 2024-07-05
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公开(公告)号: CN118824852A公开(公告)日: 2024-10-22
- 发明人: 刘瑞 , 王凝一 , 魏晓光 , 焦倩倩 , 王耀华 , 李玲 , 吴沛飞 , 唐新灵
- 申请人: 北京怀柔实验室
- 申请人地址: 北京市怀柔区杨雁东一路8号
- 专利权人: 北京怀柔实验室
- 当前专利权人: 北京怀柔实验室
- 当前专利权人地址: 北京市怀柔区杨雁东一路8号
- 代理机构: 华进联合专利商标代理有限公司
- 代理商 杨明莉
- 主分类号: H01L21/332
- IPC分类号: H01L21/332 ; H01L29/10 ; H01L21/266 ; H01L21/265 ; H01L29/744
摘要:
本公开涉及一种门极换流晶闸管芯片及其制备方法,涉及半导体技术领域。所述门极换流晶闸管芯片的制备方法,包括以下步骤:提供衬底;向衬底的上表面进行第一型掺杂形成第一型基区,向衬底的下表面进行第一型掺杂形成第一型阳极区;向第一型基区的上表面进行第一型离子注入,通过调节注入角度和/或注入掩膜版开口大小,形成纵向和横向变掺杂且具有预设掺杂浓度的第一型掺杂基区;向第一型掺杂基区的上表面进行第二型杂质扩散,形成第二型掺杂发射区;于第一型阳极区的下表面进行第一型离子注入,形成第一型掺杂发射区。本公开可以提升器件的关断性能。
IPC分类: