离电式柔性压力传感器、压力检测设备和方法
摘要:
本申请涉及一种离电式柔性压力传感器、压力检测设备和方法,柔性压力传感器包括:依次层叠分布的第一电极层、离子层和第二电极层;第二电极层靠近离子层的一侧为弹性的半球凸起阵列结构,半球凸起阵列结构包括对称分布的N×N个半球凸起,在N×N个半球凸起的对称方向上,各个半球凸起的半径从半球凸起阵列结构的中部向两侧依次增大;第一电极层和第二电极层分别连接有导线;其中,在柔性压力传感器的非受力状态下,第一电极层与离子层全面接触,离子层和半球凸起阵列结构中半径最大的半球凸起接触。离子层与第二电极层的接触面积具有明显变化,从而使得传感器具有较高的压力检测灵敏度,解决了目前的离子柔性压力传感器灵敏度较低的问题。
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