发明公开
- 专利标题: 一种线路间绝缘测试基板的形成方法
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申请号: CN202410945368.9申请日: 2024-07-15
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公开(公告)号: CN118741878A公开(公告)日: 2024-10-01
- 发明人: 桂萌琦 , 于中尧 , 方志丹 , 杨芳 , 王文杰 , 武晓萌 , 孙澎 , 丁善军 , 张绪 , 王启东
- 申请人: 华进半导体封装先导技术研发中心有限公司
- 申请人地址: 江苏省无锡市新吴区景贤路2号华进半导体2期
- 专利权人: 华进半导体封装先导技术研发中心有限公司
- 当前专利权人: 华进半导体封装先导技术研发中心有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省无锡市新吴区景贤路2号华进半导体2期
- 代理机构: 上海智晟知识产权代理事务所
- 代理商 张东梅
- 主分类号: H05K3/02
- IPC分类号: H05K3/02 ; H05K3/06
摘要:
本发明涉及一种线路间绝缘测试基板的形成方法,其特征在于,包括:在载体的正面和反面均压合粘接层和带有保护金属层的第一金属层;在载体两侧的第一金属层表面制备精细线路,得到带有精细线路的载体;在载体的正面和反面依次压合第一绝缘层、芯板基材和第二绝缘层,其中压合后精细线路嵌入第一绝缘层;将保护金属层和第一金属层分离;以及通过闪蚀去除第一金属层。本发明的方法制备基板时,精细线路嵌入ABF材料中,闪蚀药水对线路的侧面没有腐蚀作用,显著提升精细线路加工的良率,降低对干膜曝光机的要求,铜线路没有钻蚀,实现铜线路的宽度可控。