发明授权
- 专利标题: 一种半导体器件及其制作方法
-
申请号: CN202410471758.7申请日: 2024-04-19
-
公开(公告)号: CN118099162B公开(公告)日: 2024-07-12
- 发明人: 朱海龙 , 李韦坤 , 王文轩 , 肖宇鸿 , 陈朋
- 申请人: 合肥晶合集成电路股份有限公司
- 申请人地址: 安徽省合肥市新站区合肥综合保税区内西淝河路88号
- 专利权人: 合肥晶合集成电路股份有限公司
- 当前专利权人: 合肥晶合集成电路股份有限公司
- 当前专利权人地址: 安徽省合肥市新站区合肥综合保税区内西淝河路88号
- 代理机构: 上海汉之律师事务所
- 代理商 吴南仪
- 主分类号: H01L27/06
- IPC分类号: H01L27/06 ; H01L23/48 ; H01L21/822 ; H01L21/768
摘要:
本发明公开了一种半导体器件及其制作方法,属于半导体技术领域。所述半导体器件包括:衬底,衬底包括器件区和非器件区,且非器件区的衬底的表面低于器件区的衬底表面;金属栅极,设置在器件区上;电阻结构,设置在非器件区上,且电阻结构的高度与金属栅极的高度齐平,电阻结构包括多晶硅分部和金属分部,金属分部设置在多晶硅分部上,且金属分部与金属栅极同步获得;介质层,设置在衬底上,且覆盖金属栅极和电阻结构;以及栓塞结构,设置在介质层内,且至少设置在金属栅极和电阻结构上。通过本发明提供的一种半导体器件及其制作方法,提高半导体器件的工艺整合度,并提高半导体器件的性能。
公开/授权文献
- CN118099162A 一种半导体器件及其制作方法 公开/授权日:2024-05-28
IPC分类: