一种半导体器件及其制作方法
摘要:
本发明公开了一种半导体器件及其制作方法,属于半导体技术领域。所述半导体器件包括:衬底,衬底包括器件区和非器件区,且非器件区的衬底的表面低于器件区的衬底表面;金属栅极,设置在器件区上;电阻结构,设置在非器件区上,且电阻结构的高度与金属栅极的高度齐平,电阻结构包括多晶硅分部和金属分部,金属分部设置在多晶硅分部上,且金属分部与金属栅极同步获得;介质层,设置在衬底上,且覆盖金属栅极和电阻结构;以及栓塞结构,设置在介质层内,且至少设置在金属栅极和电阻结构上。通过本发明提供的一种半导体器件及其制作方法,提高半导体器件的工艺整合度,并提高半导体器件的性能。
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