本发明公开了一种3D光学相控阵结构及其光刻设备，属于光学元件技术领域，3D光学相控阵结构包括分支成多个波导路径的公共路径，每一个所述波导路径终止于多个边缘发射器中的一个单独的波导路径；多个所述边缘发射器在第一坐标轴上彼此间隔设置，每两个边缘发射器之间的间距是非周期性的，光刻设备包括底座，底座上圆周均匀设置有多个腔体，腔体的内部转动设置有转台，转台内部设置有负压吸盘，转台上放置有晶圆，横杆在底座上方转动，横杆上安装有滴胶组件和引流组件，滴胶组件用于将光刻胶滴加到晶圆上，引流组件用于与旋转后的晶圆接触，对晶圆边缘堆积的光刻胶进行引流，保证涂胶质量。