本发明适用于晶圆清洗领域，提供了一种半导体晶圆翻转式清洗机，包括箱体，所述箱体的内部固定连接有安装板，所述安装板上开设有若干个泄水孔，所述安装板上转动连接有转动座，所述转动座的顶部固定连接有两个立板，还包括：动力机构，所述动力机构安装在安装板上，所述动力机构的输出端与转动座传动连接，所述动力机构用于带动转动座转动；夹持机构，所述夹持机构安装在两个立板上。本发明中，在转动座带动晶圆转动时，间歇翻转机构带动晶圆间歇翻转一定角度，使晶圆和喷头之间形成一定夹角，可以对晶圆的死角进行全面的冲洗，提高了清洗效果；本装置可以对晶圆的两面同时进行清洗，提高了清洗效率。