本发明是一种晶圆搬送方法，该晶圆搬送方法在从密闭收纳容器取出晶圆并通过搬送机器人搬送晶圆时，或者将由搬送机器人搬送的晶圆放入密闭收纳容器时，在通过装载端口门所具备的闩锁键驱动机构旋转驱动闩锁键时，使闩锁键以60deg/秒以下的旋转速度进行旋转驱动，其中，装载端口门能够与搬送室的晶圆搬送出入口嵌合，且能够保持密闭收纳容器的盖而从晶圆搬送出入口脱离，闩锁键用于在载置于装载端口架台的密闭收纳容器中使盖相对于容器主体固定及解除固定。由此，提供一种晶圆搬送方法及晶圆搬送装置，能够降低在伴随晶圆的搬送而开闭密闭收纳容器的盖时或者装载端口门上升·下降时的起尘量。