Invention Publication
- Patent Title: DFN未切透不良品检测的治具及使用方法
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Application No.: CN202310662848.XApplication Date: 2023-06-05
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Publication No.: CN116884865APublication Date: 2023-10-13
- Inventor: 蔡远飞 , 王建国 , 黄泽军
- Applicant: 深圳市锐骏半导体股份有限公司
- Applicant Address: 广东省深圳市南山区粤海街道滨海社区海天二路25号深圳湾创业投资大厦8层801A房
- Assignee: 深圳市锐骏半导体股份有限公司
- Current Assignee: 深圳市锐骏半导体股份有限公司
- Current Assignee Address: 广东省深圳市南山区粤海街道滨海社区海天二路25号深圳湾创业投资大厦8层801A房
- Agency: 深圳市诺正鑫泽知识产权代理有限公司
- Agent 农丹
- Main IPC: H01L21/66
- IPC: H01L21/66 ; H01L21/687 ; H01L21/67 ; G01B5/00

Abstract:
本发明属于半导体不良品检测技术领域,公开了一种DFN未切透不良品检测的治具及使用方法,包括基座,所述基座设有用于DFN产品滑动的滑槽;所述滑槽一端的端口宽度设置为待测尺寸上限,另一端的端口宽度设置为待测尺寸下限。本发明通过在滑槽的两端端口分别设置待测尺寸上限和下限,操作者只需将DFN产品在滑槽内拨动,观察DFN产品是否能滑入待测尺寸上限,是否可以卡在上下限端口之间来判断产品是否合格,拨入过程滑槽宽度尺寸依次递减,直至与DFN产品尺寸相同后卡在,测量结束后再拨出,操作简单而且测量精度高,测量效率高,有效提高DFN产品的返工效率,提升返工良率,降低返工成本,提升产品竞争力。
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IPC分类: