共焦测量系统的多孔盘
摘要:
本公开描述一种共焦测量系统的多孔盘,共焦测量系统基于多孔盘进行成像,多孔盘包括具有若干条阿基米德螺线的螺线区域,形成阿基米德螺线的通光孔组以围绕多孔盘的中心呈旋转对称分布,螺线区域包括多组以环绕多孔盘的中心的方式呈周期性排列的通光孔阵列,且螺线区域包括至少三组通光孔阵列。由此,该多孔盘能够根据待测物表面反射率的不同在一个旋转周内多次成像,光学测量系统及基于光学测量系统的成像方法能够对成像的多幅不同曝光范围的图像进行多帧融合以获得更大的动态范围。
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