发明公开
- 专利标题: 一种半导体晶圆自动贴膜一体机
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申请号: CN202310526921.0申请日: 2023-05-11
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公开(公告)号: CN116313933A公开(公告)日: 2023-06-23
- 发明人: 张珍珠 , 刘新凤 , 黄雄 , 刘卫
- 申请人: 深圳市昌富祥智能科技有限公司
- 申请人地址: 广东省深圳市宝安区航城街道鹤洲社区鹤州渔业村工业区综合楼六层
- 专利权人: 深圳市昌富祥智能科技有限公司
- 当前专利权人: 深圳市昌富祥智能科技有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省深圳市宝安区航城街道鹤洲社区鹤州渔业村工业区综合楼六层
- 代理机构: 深圳市中科云策知识产权代理有限公司
- 代理商 章明美
- 主分类号: H01L21/67
- IPC分类号: H01L21/67 ; H01L21/683 ; B08B6/00 ; B08B5/02
摘要:
本发明公开了一种半导体晶圆自动贴膜一体机,涉及半导体晶圆贴膜技术领域。该半导体晶圆自动贴膜一体机,包括工作台,所述工作台的顶部转动安装有贴膜盖板,所述工作台的顶部开设有凹槽,所述凹槽的内部设置有定位装置,定位装置包括固定框,所述固定框的内部滑动安装有活动板,所述活动板的表面固定安装有活动杆。该半导体晶圆自动贴膜一体机,通过操控杆会推动密封板进行移动,使活塞板会挤压存储框内部的气体通过气管进入固定框的内部,固定框内部的气压增加会推动活动板和活动杆进行移动,使弧形板会推动晶圆进行移动,使晶圆移动到贴膜的位置,避免晶圆的位置产生偏移会对贴膜产生影响。
公开/授权文献
- CN116313933B 一种半导体晶圆自动贴膜一体机 公开/授权日:2023-09-22
IPC分类: