一种半导体晶圆自动贴膜一体机
摘要:
本发明公开了一种半导体晶圆自动贴膜一体机,涉及半导体晶圆贴膜技术领域。该半导体晶圆自动贴膜一体机,包括工作台,所述工作台的顶部转动安装有贴膜盖板,所述工作台的顶部开设有凹槽,所述凹槽的内部设置有定位装置,定位装置包括固定框,所述固定框的内部滑动安装有活动板,所述活动板的表面固定安装有活动杆。该半导体晶圆自动贴膜一体机,通过操控杆会推动密封板进行移动,使活塞板会挤压存储框内部的气体通过气管进入固定框的内部,固定框内部的气压增加会推动活动板和活动杆进行移动,使弧形板会推动晶圆进行移动,使晶圆移动到贴膜的位置,避免晶圆的位置产生偏移会对贴膜产生影响。
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