本发明提供一种在线检测金属通孔断路的测试结构和测试方法，提供掺杂的基底；基底上设有接触孔层；接触孔层上设有第一金属层；第一金属层上设有第一金属通孔层；第一金属通孔层上设有第二金属层；接触孔层包含有多个接触孔，多个接触孔与第一金属层连接；第一金属通孔层包含有多个第一通孔；多个第一通孔中填充有金属，多个第一通孔与第二金属层连接。利用E‑beam技术检测第一通孔中金属的填充是否产生断路。提前发现工艺过程中的问题，及时解决，尽快止损。