发明公开
CN115874146A 一种磨轮表面的镀膜方法
审中-实审
- 专利标题: 一种磨轮表面的镀膜方法
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申请号: CN202111138096.4申请日: 2021-09-27
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公开(公告)号: CN115874146A公开(公告)日: 2023-03-31
- 发明人: 冯明章
- 申请人: 东莞新科技术研究开发有限公司
- 申请人地址: 广东省东莞市南城区宏远工业区
- 专利权人: 东莞新科技术研究开发有限公司
- 当前专利权人: 东莞新科技术研究开发有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省东莞市南城区宏远工业区
- 代理机构: 广州三环专利商标代理有限公司
- 代理商 郝传鑫
- 主分类号: C23C14/22
- IPC分类号: C23C14/22 ; C23C14/06 ; C23C14/02 ; C23C14/12 ; C23C14/54
摘要:
本发明公开了一种磨轮表面的镀膜方法,包括:对磨轮表面进行清洗以及烘干处理;将烘干后的磨轮置于真空室内,在氩气和氢气环境下,对磨轮表面进行辉光清洗;向真空室内通入硅烷和氩气,并控制气压为200Pa~300Pa,温度为200℃~300℃,向磨轮施加‑1000V~‑800V的负偏压,采用气相沉积法在磨轮表面进行第一次沉积,相应形成结合层;将真空室内的真空度调整为8.0×10‑3Pa,向真空室内通入氩气,以将真空度调整为5Pa;开启石墨靶源,向磨轮施加800V~1000V的偏压,将电流调整为18A~20A,温度调整为80℃~90℃,在结合层的表面进行第二次沉积,相应形成类金刚石镀膜层。本发明的技术方案能够在提高磨轮的硬度、润滑性的同时,解决磨轮表面的镀膜层容易脱落的问题,提高磨轮表面与镀膜层的结合性。
IPC分类: