一种磨轮表面的镀膜方法
摘要:
本发明公开了一种磨轮表面的镀膜方法,包括:对磨轮表面进行清洗以及烘干处理;将烘干后的磨轮置于真空室内,在氩气和氢气环境下,对磨轮表面进行辉光清洗;向真空室内通入硅烷和氩气,并控制气压为200Pa~300Pa,温度为200℃~300℃,向磨轮施加‑1000V~‑800V的负偏压,采用气相沉积法在磨轮表面进行第一次沉积,相应形成结合层;将真空室内的真空度调整为8.0×10‑3Pa,向真空室内通入氩气,以将真空度调整为5Pa;开启石墨靶源,向磨轮施加800V~1000V的偏压,将电流调整为18A~20A,温度调整为80℃~90℃,在结合层的表面进行第二次沉积,相应形成类金刚石镀膜层。本发明的技术方案能够在提高磨轮的硬度、润滑性的同时,解决磨轮表面的镀膜层容易脱落的问题,提高磨轮表面与镀膜层的结合性。
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