本发明揭示了阀用部件复合表面处理工艺及阀用部件，其中表面处理工艺是在清洗后的基体上加工得到50微米‑300微米厚的支撑层并在磨削和抛光处理后，在支撑层上加工得到表层为超硬碳基涂层的PVD涂层。本发明采用较厚的支撑层为PVD涂层提供支撑，可以防止PVD涂层，尤其是超硬碳基涂层因基体变形而失效。支撑层的硬度介于基体和超硬碳基涂层的硬度之间，极大程度地避免基体和超硬碳基涂层之间由于硬度梯度过大导致结合力不良的问题。进一步超硬碳基涂层的硬度在3500HV‑6500HV之间，摩擦系数在0.06‑0.1之间，成倍地提高表面硬度，且表面具有低摩擦系数，充分满足了高压、高频硬密封场合的使用需要，使用寿命相对于常规工艺处理的阀用部件提高3‑10倍。