发明授权
- 专利标题: 一种引线框架矫形检测组件及装置
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申请号: CN202211564164.8申请日: 2022-12-07
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公开(公告)号: CN115662915B公开(公告)日: 2023-06-02
- 发明人: 曾尚文 , 陈久元 , 杨利明
- 申请人: 四川富美达微电子有限公司
- 申请人地址: 四川省遂宁市射洪县经济开发区河东大道88号
- 专利权人: 四川富美达微电子有限公司
- 当前专利权人: 四川富美达微电子有限公司
- 当前专利权人地址: 四川省遂宁市射洪县经济开发区河东大道88号
- 代理机构: 成都诚中致达专利代理有限公司
- 代理商 傅超
- 主分类号: H01L21/66
- IPC分类号: H01L21/66 ; H01L23/495
摘要:
一种引线框架矫形检测组件及装置,属于半导体器件基材生产检测技术领域,矫形检测组件包括:安装架具有横梁,横梁两端设有立柱;支撑滚轮两端分别连接于两侧的立柱,支撑滚轮中段外表面为硬质绝缘层,支撑滚轮的至少一端外表面设有导电圈;检测辊组平行设于支撑滚轮的上方,其包括中心轴及若干弧形板,中心轴为导电材料制成,中心轴与导电圈的电信号均与检测上位机相连,中心轴两端分别连接于两侧的立柱,弧形板为硬质绝缘材料,弧形板沿圆周布置于中心轴的外壁,所有弧形板的外壁构建形成完整的圆柱面,其中沿圆周相同间隔的弧形板内穿设有导电的探针。本方案可在对引线框架矫形的同时对引脚进行检测,具有较高的检测效率。
公开/授权文献
- CN115662915A 一种引线框架矫形检测组件及装置 公开/授权日:2023-01-31
IPC分类: