一种引线框架矫形检测组件及装置
摘要:
一种引线框架矫形检测组件及装置,属于半导体器件基材生产检测技术领域,矫形检测组件包括:安装架具有横梁,横梁两端设有立柱;支撑滚轮两端分别连接于两侧的立柱,支撑滚轮中段外表面为硬质绝缘层,支撑滚轮的至少一端外表面设有导电圈;检测辊组平行设于支撑滚轮的上方,其包括中心轴及若干弧形板,中心轴为导电材料制成,中心轴与导电圈的电信号均与检测上位机相连,中心轴两端分别连接于两侧的立柱,弧形板为硬质绝缘材料,弧形板沿圆周布置于中心轴的外壁,所有弧形板的外壁构建形成完整的圆柱面,其中沿圆周相同间隔的弧形板内穿设有导电的探针。本方案可在对引线框架矫形的同时对引脚进行检测,具有较高的检测效率。
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