一种微阵列模具控形柔性抛光方法，为控形柔性抛光。方案一：工件下方安装磁铁，使配制的磁性磨料在磁场力作用下与工件表面贴合并产生接触压力；工件上方安装磁性抛光工具，通过在工具上吸附球形磁铁使其磁化，具备吸附磁性磨料的能力；抛光工具自身旋转，在磁力和离心力的作用下，工具尖端的磁性磨料形成球状抛光头。方案二：采用剪切增稠液，将球头铣刀安装在工件上方，通过球头铣刀的高速旋转，带动剪切增稠液旋转并产生相对的剪切运动，在剪切增稠效应的作用下进行抛光。上述两种方案可以适应微阵列模具特征点的曲率，达到保持微阵列模具面形的目的，可以抛光磁性和非磁性材料，适用范围广。本发明可实现对微阵列模具的高效抛光，克服微阵列模具抛光过程中面形精度和表面质量较低的问题，保持微阵列模原有的面形精度并获得较高的表面质量。