一种半导体芯片的镀膜治具
摘要:
本发明公开了一种半导体芯片的镀膜治具,属于半导体芯片镀膜技术领域,包括镀膜箱,镀膜箱顶部气孔处固定连接有抽真空管,镀膜箱侧壁气孔处固定连接有氩气注气管,镀膜箱顶部前端直孔处密封连接有活动板,活动板顶部安装有磁棒冷却水管道和气压感应器,活动板底部固定连接有金属靶材安装架,金属靶材安装于金属靶材安装架内,金属靶材安装架内安装有磁力棒,磁棒冷却水管道安装于金属靶材一侧;镀膜箱内底部设有等弧度转动组件;镀膜箱在等弧度转动组件上方处设有下料组件;镀膜箱后侧壁开设有料箱插槽;镀膜箱在料箱插槽内插接有传送带式存料组件;通过上述方式,本发明抽真空能耗小,且氩气消耗量小,降低了整体镀膜成本,利于企业生产。
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