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一种封装方法
摘要:
本发明提供一种封装方法,包括如下步骤:提供转接板;在转接板的一侧设置第一临时键合基板;在转接板的另一侧表面形成第一重布线结构;在转接板的一侧设置第一临时键合基板之后,在部分第一重布线结构背向转接板的一侧形成焊球,焊球与第一重布线结构电学连接;在焊球背向转接板的一侧设置第二临时键合基板;设置第二临时键合基板之后,去除第一临时键合基板;去除第一临时键合基板之后,将芯片设置在转接板背向第一重布线结构的一侧;在转接板背向第一重布线结构的一侧形成包围芯片的塑封层。因塑封层产生的翘曲对封装结构的影响较小,降低了封装过程中对封装工艺设备的要求,提高了封装工艺对设备的选择性。
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