发明公开
CN114792632A 一种封装方法
审中-实审
- 专利标题: 一种封装方法
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申请号: CN202210194575.6申请日: 2022-03-01
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公开(公告)号: CN114792632A公开(公告)日: 2022-07-26
- 发明人: 张凯 , 段明伟 , 曹立强
- 申请人: 华进半导体封装先导技术研发中心有限公司
- 申请人地址: 江苏省无锡市新吴区太湖国际科技园菱湖大道200号中国传感网国际创新园D1栋
- 专利权人: 华进半导体封装先导技术研发中心有限公司
- 当前专利权人: 华进半导体封装先导技术研发中心有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省无锡市新吴区太湖国际科技园菱湖大道200号中国传感网国际创新园D1栋
- 代理机构: 北京三聚阳光知识产权代理有限公司
- 代理商 薛异荣
- 主分类号: H01L21/56
- IPC分类号: H01L21/56 ; H01L23/31 ; H01L23/482 ; H01L23/485 ; H01L25/07 ; H01L25/18 ; H01L21/60
摘要:
本发明提供一种封装方法,包括如下步骤:提供转接板;在转接板的一侧设置第一临时键合基板;在转接板的另一侧表面形成第一重布线结构;在转接板的一侧设置第一临时键合基板之后,在部分第一重布线结构背向转接板的一侧形成焊球,焊球与第一重布线结构电学连接;在焊球背向转接板的一侧设置第二临时键合基板;设置第二临时键合基板之后,去除第一临时键合基板;去除第一临时键合基板之后,将芯片设置在转接板背向第一重布线结构的一侧;在转接板背向第一重布线结构的一侧形成包围芯片的塑封层。因塑封层产生的翘曲对封装结构的影响较小,降低了封装过程中对封装工艺设备的要求,提高了封装工艺对设备的选择性。
IPC分类: