发明公开
- 专利标题: 一种光学自对准极低温测试系统
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申请号: CN202210049463.1申请日: 2022-01-17
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公开(公告)号: CN114383811A公开(公告)日: 2022-04-22
- 发明人: 余慧勤 , 周慧 , 潘一铭 , 李浩 , 尤立星
- 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 申请人地址: 上海市长宁区长宁路865号
- 专利权人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 当前专利权人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 当前专利权人地址: 上海市长宁区长宁路865号
- 代理机构: 上海光华专利事务所
- 代理商 余明伟
- 主分类号: G01M11/00
- IPC分类号: G01M11/00 ; F25B25/02
摘要:
本发明的一种光学自对准极低温测试系统包括低温冷源模块、吸附式制冷模块及光学自对准模块,低温冷源模块与吸附式制冷模块横向并排排布,降低了极低温测试系统的高度,方便后续的拆卸安装;低温冷源模块的真空罩与吸附式制冷模块的吸附级真空罩相连通,通过同一真空泵提供真空环境,减少空气对流造成的热损失;两级封闭低温环境,可减少系统对待测器件的辐射漏热,提供恒定的极低温环境,保证器件正常工作;设置可拆卸的吸附级真空密封板、吸附级一级冷板与吸附级二级冷板,简单方便地更换器件、滤波片、光纤;能够兼容光纤和自由空间这两种真空光传播方式,突破传统壁垒,大大提高光学自对准极低温测试系统的应用范围。
公开/授权文献
- CN114383811B 一种光学自对准极低温测试系统 公开/授权日:2022-11-11