发明公开
- 专利标题: 三维存储器的制作方法及三维存储器
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申请号: CN202111106900.0申请日: 2020-07-09
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公开(公告)号: CN113838863A公开(公告)日: 2021-12-24
- 发明人: 徐伟 , 杨星梅 , 王健舻 , 吴继君 , 黄攀 , 周文斌
- 申请人: 长江存储科技有限责任公司
- 申请人地址: 湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号
- 专利权人: 长江存储科技有限责任公司
- 当前专利权人: 长江存储科技有限责任公司
- 当前专利权人地址: 湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号
- 代理机构: 北京同立钧成知识产权代理有限公司
- 代理商 宋兴; 刘芳
- 主分类号: H01L27/1157
- IPC分类号: H01L27/1157 ; H01L27/11575 ; H01L27/11582 ; H01L27/11524 ; H01L27/11548 ; H01L27/11556
摘要:
本发明提供了一种三维存储器的制作方法及三维存储器,属于半导体存储技术领域,其旨在解决对位于沟道孔底部的沟道结构进行开口时,损伤位于第一沟道孔和第二沟道孔连接处的功能层的问题;其在衬底的背面形成与沟道结构相对的第一通孔,以第一通孔为刻蚀通道对沟道结构进行刻蚀,以使沟道层朝向衬底的一端凸出所述功能层;在第一通孔内形成与沟道结构接触的半导体柱塞,从而沟道层通过半导体柱塞与衬底接触并形成电连接。本发明提供的三维存储器的制作方法及三维存储器,能够在实现衬底与沟道层电性连接的同时,可避免损伤位于第二沟道孔与第一沟道孔连接处的功能层,提高三维存储器的良率和可靠性。
公开/授权文献
- CN113838863B 三维存储器的制作方法及三维存储器 公开/授权日:2023-09-05
IPC分类: