压电换能器
摘要:
多个梁部(110)各自具有固定端部(111),并在远离固定端部(111)的方向上延伸。基部(120)与多个梁部(110)各自的固定端部(111)连接。多个梁部(110)各自在同一平面内延伸,且多个梁部(110)中的至少两个梁部(110)各自的延伸方向(E)互不相同。多个梁部(110)各自包含具有同一方向的极化轴的单晶压电体层(10)、上部电极层(20)、以及下部电极层(30)。极化轴(Z′)在上述平面内具有极化分量。与极化轴(Z′)正交且在上述平面内延伸的正交轴(X′)的轴方向与多个梁部(110)各自的延伸方向(E)交叉。
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