本发明公开了一种薄膜材料结晶的装置和方法，通过腔室；第一管路，所述第一管路与所述腔室的一端连通，且所述第一管路通入第一前驱体进入所述腔室；第二管路，所述第二管路与所述腔室的一端连通，且所述第二管路通入第二前驱体进入所述腔室；马弗炉，所述马弗炉采用包裹管式腔体，且所述马弗炉包裹在所述腔室的外侧；抽真空管路，所述抽真空管路的一端与所述腔室的另一端连通。解决现有技术中原子层沉积设备腔室为金属且腔体较大，对于腔室的升温和降温速度非常缓慢，不适宜活性较低的原子层沉积前驱体的技术问题，达到了维持衬底温度的恒定，保持腔室温度的均匀，实现了拓宽原子层沉积前驱体的选择，提高所沉积薄膜的结晶性的技术效果。