本发明涉及一种砷化镓太阳电池及其制备方法，属于太阳能电池技术领域。本发明提供的砷化镓太阳电池中，从该电池的背光面到受光面依次包括下电极、衬底层、砷化镓外延层、上电极和减反膜；其中，所述减反膜为双层结构，包括以TiO2@AZO为原料制成的内减反层和SiO2为原料制成的外减反层，所述内减反层紧邻所述上电极栅线设置，所述外减反层远离所述上电极栅线设置；所述TiO2@AZO为采用TiO2为内芯，AZO为外壳的核壳结构。该电池通过采用TiO2@AZO为原料通过真空蒸镀的方式沉积到上电极栅线表面或外延层表面制成内减反层，提高了上电极的导电效果和太阳光的透过率。