化学研磨液及使用了其的表面处理方法
摘要:
提供一种化学研磨液,其为用于铝或铝合金的化学研磨液,其含有过氧化氢(A)、氟化合物(B)、不属于前述氟化合物(B)的无机酸(C)、和含羟基的烃化合物(D),前述过氧化氢(A)的含量按前述化学研磨液的总量基准计为2~20质量%,前述氟化合物(B)的以氟原子换算计的含量按前述化学研磨液的总量基准计为3~17质量%,前述无机酸(C)的含量按前述化学研磨液的总量基准计为20~55质量%,前述含羟基的烃化合物(D)的含量按前述化学研磨液的总量基准计为2~15质量%。
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