发明授权
- 专利标题: 化学研磨液及使用了其的表面处理方法
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申请号: CN201980054658.1申请日: 2019-09-02
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公开(公告)号: CN112585299B公开(公告)日: 2023-09-22
- 发明人: 黑泽伸也 , 藤井智子 , 松永裕嗣
- 申请人: 三菱瓦斯化学株式会社
- 申请人地址: 日本东京都
- 专利权人: 三菱瓦斯化学株式会社
- 当前专利权人: 三菱瓦斯化学株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京都
- 代理机构: 北京林达刘知识产权代理事务所
- 代理商 刘新宇; 李茂家
- 国际申请: PCT/JP2019/034388 2019.09.02
- 国际公布: WO2020/050204 JA 2020.03.12
- 进入国家日期: 2021-02-19
- 主分类号: C23F3/03
- IPC分类号: C23F3/03
摘要:
提供一种化学研磨液,其为用于铝或铝合金的化学研磨液,其含有过氧化氢(A)、氟化合物(B)、不属于前述氟化合物(B)的无机酸(C)、和含羟基的烃化合物(D),前述过氧化氢(A)的含量按前述化学研磨液的总量基准计为2~20质量%,前述氟化合物(B)的以氟原子换算计的含量按前述化学研磨液的总量基准计为3~17质量%,前述无机酸(C)的含量按前述化学研磨液的总量基准计为20~55质量%,前述含羟基的烃化合物(D)的含量按前述化学研磨液的总量基准计为2~15质量%。
公开/授权文献
- CN112585299A 化学研磨液及使用了其的表面处理方法 公开/授权日:2021-03-30
IPC分类: