发明公开
- 专利标题： 用于切割管芯附着膜的方法
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申请号： CN201980036984.X申请日： 2019-03-27
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公开(公告)号： CN112534567A公开(公告)日： 2021-03-19
- 发明人: 鲁塞尔·韦斯特曼 , 马尔科·诺塔里安尼 , 莱斯利·迈克尔·莱亚
- 申请人： 等离子瑟姆有限公司
- 申请人地址： 美国佛罗里达州
- 专利权人： 等离子瑟姆有限公司
- 当前专利权人： 等离子瑟姆有限公司
- 当前专利权人地址： 美国佛罗里达州
- 代理机构： 中原信达知识产权代理有限责任公司
- 代理商 王伟; 高伟
- 优先权： 62/680,145 20180604 US 62/721,380 20180822 US 16/358,163 20190319 US
- 国际申请： PCT/US2019/024380 2019.03.27
- 国际公布： WO2019/236176 EN 2019.12.12
- 进入国家日期： 2020-12-01
- 主分类号： H01L21/78
- IPC分类号： H01L21/78
摘要：
本发明提供了一种在复合膜上切割衬底的方法。该方法包括提供具有支撑膜、框架和衬底的工件。衬底具有顶表面和底表面。衬底的顶表面具有至少一个管芯区域和至少一个切割道区域。复合膜附着到衬底并且附着到支撑膜。从所述至少一个切割道区域中去除衬底材料，以暴露复合膜的一部分。从所述至少一个切割道区域中去除所暴露的复合膜。对复合膜的暴露部分的第一组分进行等离子体蚀刻。通过对复合膜施加力，来去除复合膜的第二组分。
公开/授权文献
- CN112534567B 用于切割管芯附着膜的方法 公开/授权日：2024-01-26
IPC分类:
