适用于碱抛工艺单晶PERC-SE双面电池制作方法
摘要:
本发明涉及太阳能电池生产领域。适用于碱抛工艺单晶PERC‑SE双面电池制作方法,顺序按照清洗制绒、扩散制结、激光掺杂、PSG+碱抛、二氧化硅层制备、背钝化膜制备、正面氮化硅层制备、背面激光开槽、正背面电极制备的工艺步骤制备,二氧化硅层制备时,采用热氧化方法在硅片正、背面沉积一层二氧化硅薄膜,其中,热氧化温度:300‑900℃,氧气流量:100‑10000sccm,时间:2‑50min。采用碱抛SE工艺,SE实现降低硅片和电极之间的接触电阻,又降低了表面的复合,提高了少子寿命,使得短路电流、开路电压和填充因子都能得到较好的改善,从而提高转换效率。
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