发明公开
- 专利标题: 适用于碱抛工艺单晶PERC-SE双面电池制作方法
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申请号: CN202011187845.8申请日: 2020-10-30
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公开(公告)号: CN112382698A公开(公告)日: 2021-02-19
- 发明人: 王斌 , 戴大洲 , 赵晨 , 蒋万昌
- 申请人: 山西潞安太阳能科技有限责任公司
- 申请人地址: 山西省长治市郊区漳泽新型工业园区
- 专利权人: 山西潞安太阳能科技有限责任公司
- 当前专利权人: 山西潞安太阳能科技有限责任公司
- 当前专利权人地址: 山西省长治市郊区漳泽新型工业园区
- 代理机构: 太原市科瑞达专利代理有限公司
- 代理商 李富元
- 主分类号: H01L31/18
- IPC分类号: H01L31/18 ; H01L31/068 ; H01L31/0224 ; H01L31/0216 ; C23C16/50 ; C23C16/02 ; C23C16/40 ; C23C16/30 ; C23C16/34
摘要:
本发明涉及太阳能电池生产领域。适用于碱抛工艺单晶PERC‑SE双面电池制作方法,顺序按照清洗制绒、扩散制结、激光掺杂、PSG+碱抛、二氧化硅层制备、背钝化膜制备、正面氮化硅层制备、背面激光开槽、正背面电极制备的工艺步骤制备,二氧化硅层制备时,采用热氧化方法在硅片正、背面沉积一层二氧化硅薄膜,其中,热氧化温度:300‑900℃,氧气流量:100‑10000sccm,时间:2‑50min。采用碱抛SE工艺,SE实现降低硅片和电极之间的接触电阻,又降低了表面的复合,提高了少子寿命,使得短路电流、开路电压和填充因子都能得到较好的改善,从而提高转换效率。
IPC分类: