发明授权
- 专利标题： 衬底处理装置及衬底搬送方法
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申请号： CN202010620693.X申请日： 2020-07-01
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公开(公告)号： CN112242320B公开(公告)日： 2024-09-17
- 发明人: 桑原丈二
- 申请人： 株式会社斯库林集团
- 申请人地址： 日本京都
- 专利权人： 株式会社斯库林集团
- 当前专利权人： 株式会社斯库林集团
- 当前专利权人地址： 日本京都
- 代理机构： 北京律盟知识产权代理有限责任公司
- 代理商 陈甜甜
- 主分类号： H01L21/67
- IPC分类号： H01L21/67 ; H01L21/677
摘要：
本发明涉及一种衬底处理装置及衬底处理装置的衬底搬送方法。2个处理区块不以堆积的方式配置，第1处理区块、ID区块、第2处理区块在水平方向上呈直线状连结。因此，能够抑制高度并增加处理层的个数。第1处理区块及第2处理区块分别直接连结于ID区块。因此，能够抑制通过处理区块却不进行衬底处理的步骤，由此，能够防止产能降低。另外，将2个处理区块均能够搬送衬底W的衬底缓冲区配置在2个处理区块的中间，因此能够减少衬底处理装置的占据面积。
公开/授权文献
- CN112242320A 衬底处理装置及衬底搬送方法 公开/授权日：2021-01-19
IPC分类:
