一种具有粗糙侧壁的引线框架的制备方法
摘要:
本发明属于半导体器件技术领域,具体涉及一种具有粗糙侧壁的引线框架的制备方法。本发明先对引线框架上表面进行单面棕色氧化,再在电镀和蚀刻后对半蚀刻区域和侧壁进行超粗化处理,通过超粗化工艺条件的控制,使侧壁和半蚀刻区域形成粗糙度良好的粗糙表面,增加了引线框架与塑封树脂接触区域的结合力,而引线框架下表面未经过粗糙化处理,仅在裸露的焊盘区域形成表面光滑的预电镀层,减少了表面粗糙化的面积,同时下表面不易粘附塑封过程产生的溢料,减少清洗难度,有利于简化工艺,节省粗化和电镀成本。本发明的引线框架侧壁具有良好的粗糙度,改善了集成电路封装体的气密性和可靠性,减少分层、开裂等缺陷。
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