发明授权
- 专利标题: 一种具有粗糙侧壁的引线框架的制备方法
-
申请号: CN202011329108.7申请日: 2020-11-24
-
公开(公告)号: CN112133640B公开(公告)日: 2021-02-09
- 发明人: 黎超丰 , 冯小龙 , 章新立 , 林渊杰 , 林杰
- 申请人: 宁波康强电子股份有限公司
- 申请人地址: 浙江省宁波市鄞州投资创业中心金源路988号
- 专利权人: 宁波康强电子股份有限公司
- 当前专利权人: 宁波康强电子股份有限公司
- 当前专利权人地址: 浙江省宁波市鄞州投资创业中心金源路988号
- 代理机构: 宁波市鄞州盛飞专利代理事务所
- 代理商 王玲华; 洪珊珊
- 主分类号: H01L21/48
- IPC分类号: H01L21/48 ; H01L23/495
摘要:
本发明属于半导体器件技术领域,具体涉及一种具有粗糙侧壁的引线框架的制备方法。本发明先对引线框架上表面进行单面棕色氧化,再在电镀和蚀刻后对半蚀刻区域和侧壁进行超粗化处理,通过超粗化工艺条件的控制,使侧壁和半蚀刻区域形成粗糙度良好的粗糙表面,增加了引线框架与塑封树脂接触区域的结合力,而引线框架下表面未经过粗糙化处理,仅在裸露的焊盘区域形成表面光滑的预电镀层,减少了表面粗糙化的面积,同时下表面不易粘附塑封过程产生的溢料,减少清洗难度,有利于简化工艺,节省粗化和电镀成本。本发明的引线框架侧壁具有良好的粗糙度,改善了集成电路封装体的气密性和可靠性,减少分层、开裂等缺陷。
公开/授权文献
- CN112133640A 一种具有粗糙侧壁的引线框架的制备方法 公开/授权日:2020-12-25
IPC分类: