一种新型P型晶硅TOPCon电池结构及其制备工艺
摘要:
本发明涉及太阳能电池生产领域。一种新型P型晶硅TOPCon电池结构,该P型晶硅TOPCon电池背面自下而上为氮化硅层SixNy、硼掺杂氧化硅层SiOx(B)、二氧化硅层(SiO2)。本发明还涉及该新型P型晶硅TOPCon电池结构的制备工艺。本发明不仅与当前P型PERC电池制程工艺兼容性高,设备投入额小,而且解决了硼掺杂绕度的问题,制造过程产品良率高达98%以上。
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