本发明提供用于选择用于检验样品的模式的方法及系统。一种方法包含确定在样品上所检测到的所关注缺陷DOI与扰乱在检验子系统的一或多个模式中的可分离性如何。使用所述模式针对所述DOI及所述扰乱的可分离性来选择所述模式的子集以用于检验相同类型的其它样品。所述模式的性能的其它特性可与所述可分离性组合使用来选择所述模式。基于所述可分离性而选择的所述模式子集还可为初始模式子集，针对所述初始模式子集执行额外分析以确定所述模式的最后子集。